2023-03-23 이후 사용 예정건만 예약 가능
| 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 | 일 |
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| 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | X | X |
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00
Surface profiler는 nano meter ~ um 단위의 코팅 또는 필름 막의 두께를 측정할 뿐만 아니라, 표면의 거칠기, Waviness를 측정분석이 가능하다.
▶ Model: Bruker DEKTAK XT-E
▶ Specification
1. Vertical resolution: 1Å max. (at 6.55um range)
2. Vertical measurement range : 20 nm ~ 1000um (1mm)
3. Scan length range: 50um ~ 55mm
4. Data points per scan: 120000 maximum
5. Step height repeatability: 5Å 1sigma on 1um step
6. Stylus force: 1mg to 15mg
7. Stylus size: 1.25um radius
8. Sample max size :4-inch Square Block
9. Scan speed : 2㎛/sec≤X≤200㎛/sec
10. Automatic data leveling/Software-assisted stage leveling
반도체, 박막등
◎ 수수료 10% 미포함
◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면
◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)
◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능
| 분석항목 | 단가(직접사용) | 단가(분석의뢰) | 단위 | 비고 |
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| 기본 | 10,000원 |
30분 | ||
| 사용 | 10,000원 |
30분 | 페널티 |
