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09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | 09:00 - 17:00 | X | X |
1. 샘플 로딩 시 인트로 챔버에서 대기시간이 필요하오니, 실제 측정 시간 외 1시간을 추가하여 예약해주시기 바랍니다. (샘플 당 측정시간을 모를 경우 담당자와 상의 바랍니다) 2. "담당자 일정"은 타장비 예약이 있는 경우로 클릭하여 보시면 예약시간 확인이 가능합니다. 그 외 시간은 예약 가능합니다. 3. 수요일 오전 11시 이후 실험실 및 기관별 예약제한이 미적용됩니다. 4. 연속 예약을 위하여 12:00~13:00 예약이 가능하도록 변경하였으나 점심시간에 측정 여부는 담당자와 상의 바랍니다. |
시료의 표면에 특성 X선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 원자상의 결합에너지를 측정할 수 있다.
분석하고자하는 시료의 표면상의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있고, Monochromator가 장착된 Al X-ray source를 사용할 경우, 높은 분해능에 의한 결과를 얻을 수 있다.
또한, Ar Ion gun을 이용하여 시료 표면의 cleaning 및 etching을 통하여 깊이에 따른 조성 분포를 알아보는 depth profiling 실험도 가능하다.
표면상의 얇은 층에 대한 분석이 가능하므로 표면 원자층에 대한 선택적인 분석 및 depth profiling에 의한 박막의 성장 메커니즘 연구 분야에도 사용된다.
- 2012년 7월도입
▶Model : PHI 5000 VersaProbe ll
▶Specification
1. Charge Neutralization System
1) Methode : Dual beam charge neutralization or equivalent methode
2) Analysis for insulating samples
2. Minimum X-ray beam size : 10㎛
3. XPS Energy Resolution : 0.50eV FWHM for Ag 3d 5/2 peak
4. XPS Elemental Sensitivity vs Resolution on Ag Sample
5. Max Current of Ar Sputter Gun :≥ 5.0 ㎂at 5㎸
◎ 수수료 10% 미포함
◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면
◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)
◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능
* 신규 FE-SEM장비 JSM IT-800 는 현재 프로모션으로 FE-SEM_7800F와 가격 동일
(추후 변동 예정)
분석항목 | 단가(직접사용) | 단가(분석의뢰) | 단위 | 비고 |
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기본(시간) | 50,000원 |
30분 | 최초 1시간 이후 30분 단위 청구 | |
depth | 60,000원 |
30분 | 최초 1시간 이후 30분 단위 청구 | |
사용 | 50,000원 |
30분 | 페널티 |