2023-03-23 이후 사용 예정건만 예약 가능
| 월 | 화 | 수 | 목 | 금 | 토 | 일 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10:00 - 17:00 | 10:00 - 17:00 | 10:00 - 17:00 | 10:00 - 17:00 | 10:00 - 17:00 | X | X |
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00
주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다.
현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다.
또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.
이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.
1.Resolution : 0.8nm(15 KV), 1.2nm(1 KV)
2.Accelerating voltage : 0.01 to 30kV (SEM mode & GB mode)
3.Probe current : A few pA to 200nA
4.Electron Gun : In lens Schottky field-emission gun
5.Objective lens(O.L) : Conical objective lens or Super Hybrid lens.
6.Electron-detection system
1) Through The Lens System for Low kV Observation
2) Secondary-electron image
- Upper Electron Detector with low energy electron filter
- Lower Electron Detector
3) Backscattered-electron image
4) Image Mode
- LED, UES, USD, BED-C
반도체, 물리, 화학
◎ 수수료 10% 미포함
◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면
◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)
◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능
| 분석항목 | 단가(직접사용) | 단가(분석의뢰) | 단위 | 비고 |
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| 기본 | 33,000원 |
30분 | ||
| 코팅 | 20,000원 |
회 | ||
| EDS(point) | 2,000원 |
회 | ||
| EDS(mapping) | 4,000원 |
회 | ||
| EDS(linescan) | 4,000원 |
회 | ||
| 사용 | 33,000원 |
30분 | 페널티 |
