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Field Emission Scanning Electron Microscope
열 전계방출형 주사 전자현미경 7001F[자율사용]
  • 호실
    9호관 222호
  • 제조사(국가)
    JEOL ()
  • 모델
    JSM-7001F
  • 도입일자
  • 연락처
    032-835-4319
예약/신청하기
즐겨찾는기기 추가
신청가능 시간    2024-11-07 이후 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 15:00 10:00 - 15:00 10:00 - 15:00 10:00 - 15:00 10:00 - 15:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00

직접사용 은 10시-12시, 1시-3시 이용 가능.

 

분석의뢰는 담당자가 오전에는 다른기기 분석중인 관계로 1시-3시만 이용 가능.

 

- 분석 사용시간은 무조건 2시간 단위로 예약바람.

  (만약 그렇지 않을경우에는 관리자가 임의로 변경할 수 있음/ 분석사용료는 사용시간만큼 30분단위로 부과함) 

- 당일 취소인 경우 100프로 분석사용료 부과함.

원리 및 특성

주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다.

현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.

이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

규격

▶ 2011년 12월도입

▶ Model : JEOL JSM-7001F
▶ Specification
·Resolution : 1.2㎚(30㎸), 3.0㎚(1㎸)
·Magnification : x10 ~ x1,000,000
·Accelerating voltage : 0.2 to 30㎸
·Probe current : 10-12 ~ 2 x 10-7 A
·Electron Gun :Schottky type field emission gun
·Objective lens(O.L) : Super conical out lens.
·Specimen Exchange Chamber : 5aixs motor control
·Electreon Detectors : Secondary electron detector

 

·Retractable backscattered electron detector

적용(응용)분야

▶ 반도체, 물리, 화학

사용료

◎ 수수료 10% 미포함

◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면

◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)

◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능

 

* 신규 FE-SEM장비 JSM IT-800 는 ​​​현재 프로모션으로 FE-SEM_7800F와 가격 동일 

 (추후 변동 예정)

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
기본
33,000원
33,000원
30분
코팅
20,000원
20,000원
EDS(Point)
2,000원
2,000원
EDS(mapping)
4,000원
4,000원
EDS(linescan)
4,000원
4,000원
사용
33,000원
33,000원
30분 페널티
관련자료


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