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Normal Scanning Electron Microscope
열전자 방출형 주사전자현미경
  • 호실
    9호관 104-B호
  • 제조사(국가)
    Philips (네덜란드)
  • 모델
    XL30 ESEM
  • 도입일자
    20010601
  • 연락처
    032-835-4240
예약/신청하기
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신청가능 시간    2023-03-23 이후 사용 예정건만 예약 가능
09:30 - 17:00 09:30 - 17:00 09:30 - 17:00 09:30 - 17:00 09:30 - 17:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00

*직접사용은 일정기간 교육 후 사용가능 합니다. 

*직접사용 신청시에 "직접사용"을 선택하여 예약해주세요.

*EDS 분석은 현재 불가합니다.

원리 및 특성

주사 전자현미경은 전자빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생 된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다.

또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.

이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

규격

1)Resolution: 3.5nm(30kV)

2)Accelerating Voltage: 200V~30kV

3)Electron Gun: W

4)Objective Lens Type: 45°conical

5)Electreon Detectors : Secondary electron detector

6)ESEM Mode Pressure Range: 0.1~20 Torr

7)Specimen Stage: X,Y-50mm, Z-5~30mm, T-0~45°, R-360°

8)Magnification: ESEM Mode-x250~x400,000, High Vacuum Mode-x20~400,000

9)EDS Detector: Detecting Range-Be(4)~U(92), Resolution-129eV(MnK 1,000cps)

적용(응용)분야

반도체, 물리, 화학

사용료

◎ 수수료 10% 미포함

◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면

◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)

◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
SEM
15,000원
15,000원
30분
코팅
20,000원
20,000원
사용
15,000원
15,000원
30분 패널티
관련자료


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