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Surface profiler
표면분석기(자율사용)
  • 호실
    9호관 223호
  • 제조사(국가)
    Bruker ()
  • 모델
    DEKTAK XT-E
  • 도입일자
  • 연락처
    032-835-4330
예약/신청하기
즐겨찾는기기 추가
신청가능 시간    2024-11-07 이후 사용 예정건만 예약 가능
10:00 - 17:00 10:00 - 17:00 10:00 - 17:00 10:00 - 17:00 10:00 - 17:00 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00

※ 운영시간

- 학기 중: 10:00 - 17:00

- 방학 중: 10:00 - 16:30

 

※ 당일 취소인 경우 100% 분석 사용료 부과

원리 및 특성

Surface profiler는 nano meter ~ um 단위의 코팅 또는 필름 막의 두께를 측정할 뿐만 아니라, 표면의 거칠기, Waviness를 측정분석이 가능하다. 

규격

▶ Model: Bruker DEKTAK XT-E

▶ Specification

 

1. Vertical resolution: 1Å max. (at 6.55um range)

2. Vertical measurement range : 20 nm ~ 1000um (1mm)

3. Scan length range: 50um ~ 55mm

4. Data points per scan: 120000 maximum

5. Step height repeatability: 5Å 1sigma on 1um step

6. Stylus force: 1mg to 15mg

7. Stylus size: 1.25um radius

8. Sample max size :4-inch Square Block

9. Scan speed : 2㎛/sec≤X≤200㎛/sec

10. Automatic data leveling/Software-assisted stage leveling

적용(응용)분야

반도체, 박막등

사용료

◎ 수수료 10% 미포함

◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 50% 감면

◎ 최초 1시간 기본사용료 청구 후 30분 단위 청구가능 (09:30-10:00예약제외)

◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능

 

* 신규 FE-SEM장비 JSM IT-800 는 ​​​현재 프로모션으로 FE-SEM_7800F와 가격 동일 

 (추후 변동 예정)

분석항목 단가(직접사용) 단가(분석의뢰) 단위 비고
기본
10,000원
10,000원
30분
사용
10,000원
10,000원
30분 페널티
관련자료


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